檢查凈化車(chē)間工作正常所進(jìn)行的各項測試中，其中一項就是對室內氣流的檢查。這是整個(gè)測試程序的組成部分。為了稀釋或消除室內的懸浮污染，從而防止污染在室內的積累，室內必須有充分的氣流流動(dòng)。所以對氣流必須進(jìn)行檢測。
    在紊流潔凈室中，風(fēng)的輸送和混合都是紊流方式進(jìn)行的。為確保污染物被清楚，無(wú)塵車(chē)間的各個(gè)部分必須均實(shí)現良好的空氣混合。
    在單向流凈化車(chē)間中，為保證關(guān)鍵區域達到最潔凈的水平，其送風(fēng)直接來(lái)自高效過(guò)濾器。

凈化車(chē)間垂直層流式方向要保持均一氣流必須：
(1)吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；
(2)地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高(0.2m/s，0.7m/s)均有渦流之現象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間
   影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時(shí)對于生產(chǎn)設備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應列入考慮因素。

  凈化車(chē)間一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點(diǎn)，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區內部流向作業(yè)區，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時(shí)大部份的氣流將流至制程區之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。
   凈化車(chē)間內的工作桌等障礙物，在相接處均會(huì )有渦流現象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會(huì )較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當、設備怖局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。

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