1、隔間

凈化車(chē)間隔間分為三大部分,更衣室,千級區和百級區,更衣室與千級區,千級區和百級區均設風(fēng)淋室(airshower),凈化車(chē)間與室外設有物品出入通道傳遞箱(passbox).當人員進(jìn)入凈化車(chē)間時(shí),首先要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入凈化車(chē)間的灰塵.傳遞箱則是對物品灰塵進(jìn)行吹淋,達到落塵的效果。

2、風(fēng)系統風(fēng)系統流程圖

系統采用的是全新風(fēng)空調箱+FFU 系統：

<1>全新風(fēng)空調箱結構

<2>FFU:(FANFILTERUNIT)即風(fēng)機和過(guò)濾器

千級區過(guò)濾器采用HEPA,過(guò)濾效率99.997%,百級區過(guò)濾器采用ULPA,過(guò)濾效率99.9995%。

3、水系統水系統流程圖

冰水系統分為一次側和二次側.

一次側冰水水溫7-12 度,供給空調箱和風(fēng)機盤(pán)管,二次側冰水12-17 度供給干盤(pán)管系統.一次側冰水和二次冰水為兩個(gè)不同的回路,之間由板式換熱器連接.

板式換熱器原理

干盤(pán)管:不結露的盤(pán)管,因凈化車(chē)間溫度在22 度,其露點(diǎn)溫度12 度左右,故7 度冰水不能直接進(jìn)入凈化車(chē)間,所以進(jìn)干盤(pán)管的冰水溫度在12-14 度.

4、控制系統(DDC)溫度:干盤(pán)管系統控制

濕度:空調箱調節通過(guò)感測的信號,控制三通閥開(kāi)度來(lái)調節空調箱盤(pán)管進(jìn)水量。

正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動(dòng)調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進(jìn)入室內的新風(fēng)量。

5、其他系統

不只是空調系統,凈化車(chē)間系統中還包括有真空,空壓,氮氣,純水,廢水,二氧化碳系統,制程排氣系統,檢測標準：

1、氣流速度及其均勻度檢測，這項檢測是凈化車(chē)間效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流凈化車(chē)間工作區的平均氣流通度及其均勻性。

2、系統或房間的風(fēng)量檢測。

3、室內潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別，可采用粒子計數器檢測。

4、自?xún)魰r(shí)間的檢測。通過(guò)確定自?xún)魰r(shí)間，查明潔凈室內部發(fā)生污染時(shí)恢復其原有潔凈度的能力。

5、氣流流型檢測。

6、噪聲的檢測。

7、照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

8、振動(dòng)的檢測。振動(dòng)檢測的目的是為了判明凈化車(chē)間各表明的振動(dòng)幅度。

9、溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定限度內的能力。其內容包括檢測凈化車(chē)間的送風(fēng)溫度，檢測有代表性測點(diǎn)的空氣溫度，檢測凈化車(chē)間中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內空氣相對溫度，檢測回風(fēng)溫度。

10、總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測。